企业荣誉 扩散泵装置及真空系统专利 ALD镀膜设备专利 磁控溅射镀膜装置专利 光学监控机构及镀膜装置专利 离子溅射镀膜装置专利 测量装置专利 镀膜设备专利(1) 镀膜设备专利(2) 一种离子源设备和镀膜系统专利 ISO9001证书-英文版 ISO9001证书-中文版 美国UL认证证书