企业荣誉

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                 扩散泵装置及真空系统专利                                                              ALD镀膜设备专利

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                     磁控溅射镀膜装置专利                                                         光学监控机构及镀膜装置专利

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                    离子溅射镀膜装置专利                                                                       测量装置专利

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                         镀膜设备专利(1)                                                                        镀膜设备专利(2)

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              一种离子源设备和镀膜系统专利                                                         ISO9001证书-英文版

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                     ISO9001证书-中文版                                                                   美国UL认证证书

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