[ MS1100-DP ]磁控溅射镀膜机
真空室尺寸：966 x 1100 x 688 (mm)
极限真空/漏气速率：低于5E-5Pa / 低于9.0E-5Pa.m³/s
恢复真空：100分钟之内达到3E-4Pa（不加热）
基板旋转机构：中心驱动，10-1000rpm无极可调，转轴跳动<0.025mm /行星轮结
基板盘尺寸：Φ95mm / Φ150mm / Φ228mm / Φ304mm 或 行星轮 可选
光控系统 / 控制系统：透射式单/双光路光学膜厚分布监控系统（自研）/ 自研
阴极靶：8寸靶材 * 4
安装：3040 x 1225 x 2700(mm),地板承重大于1500kg/㎡
极限真空/漏气速率：低于5E-5Pa / 低于9.0E-5Pa.m³/s
恢复真空：100分钟之内达到3E-4Pa（不加热）
基板旋转机构：中心驱动，10-1000rpm无极可调，转轴跳动<0.025mm /行星轮结
基板盘尺寸：Φ95mm / Φ150mm / Φ228mm / Φ304mm 或 行星轮 可选
光控系统 / 控制系统：透射式单/双光路光学膜厚分布监控系统（自研）/ 自研
阴极靶：8寸靶材 * 4
安装：3040 x 1225 x 2700(mm),地板承重大于1500kg/㎡
| 真空室尺寸 | 966 x 1100 x 688 (mm) |
| 极限真空/漏气速率 | 低于5E-5Pa / 低于9.0E-5Pa.m³/s |
| 恢复真空 | 100分钟之内达到3E-4Pa（不加热） |
| 基板旋转机构 | 中心驱动，10-1000rpm无极可调，转轴跳动<0.025mm /行星轮结 |
| 基板盘尺寸 | Φ95mm / Φ150mm / Φ228mm / Φ304mm 或 行星轮 可选 |
| 光控系统 / 控制系统 | 透射式单/双光路光学膜厚分布监控系统（自研）/ 自研 |
| 阴极靶 | 8寸靶材 * 4 |
| 安装 | 3040 x 1225 x 2700(mm),地板承重大于1500kg/㎡ |
| 特点 | 耐用，膜厚均匀性非常好，成膜速度快，长时间连续工作 |
| 应用方向 | 光通讯用DWDM，CWDM，LDWM等各类光芯片的生产； 医用光学用各类荧光滤光片的生产； 车载雷达滤光片的生产； 3D人脸识别滤光片的生产。 |
